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全自动槽式清洗机的特点与用途
2022-04-10
全自动槽式清洗机的特点与用途
全自动槽式清洗机广泛应用于集成电路、微机电系统和光伏领域里的CMP后清洗工艺。清洗机可以用于对晶圆表面，背面及晶圆边缘的清洗，通过自主创新的二流体喷嘴技术可将附着在晶圆表面的细微颗粒污染物去除，实现高效去除。可提供多个槽体进行化学药液或纯水，结合喷淋、溢流、快速冲洗等清洗方式，配合先...
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全自动槽式清洗机的特点与用途
2022-04-10
全自动槽式清洗机的特点与用途
全自动槽式清洗机广泛应用于集成电路、微机电系统和光伏领域里的CMP后清洗工艺。清洗机可以用于对晶圆表面，背面及晶圆边缘的清洗，通过自主创新的二流体喷嘴技术可将附着在晶圆表面的细微颗粒污染物去除，实现高效去除。可提供多个槽体进行化学药液或纯水，结合喷淋、溢流、快速冲洗等清洗方式，配合先...
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全自动槽式清洗机的特点与用途
2022-04-10
全自动槽式清洗机的特点与用途
全自动槽式清洗机广泛应用于集成电路、微机电系统和光伏领域里的CMP后清洗工艺。清洗机可以用于对晶圆表面，背面及晶圆边缘的清洗，通过自主创新的二流体喷嘴技术可将附着在晶圆表面的细微颗粒污染物去除，实现高效去除。可提供多个槽体进行化学药液或纯水，结合喷淋、溢流、快速冲洗等清洗方式，配合先...
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